2020年中呢，船重工集團七一八所四類高純電子器件混合氣體產品產能分析將居世間第一點

本報訊5月18日，記者從中船重工七一八所特種氣體產品推介會暨一期項目投產、二期項目開工儀式上了解到，該項目總投資32億元，2017年4月開工建設。2020年全部達產達效后，將年產高純特種氣體2萬噸左右，年產值將突破45億元，三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸四種產品產能將居世界第一。

高純特種氣體是半導體發光元器件產業、半導體高端存儲處理芯片等高端新興行業所急需的原材料，對打破美日壟斷，提升我國集成電路產業的核心科技水平和競爭能力具有重要意義。

據介紹，七一八所有50多年從事氣體相關產業的研發和生產經驗。為打破國外廠商高純電子氣體在半導體領域的壟斷，他們積極跟蹤國際氟化工前沿技術，加大探索新技術研發新產品的步伐，先后開展六氟化鎢、高純氘氣、三氟甲磺酸系列產品等20多種高純特種氣體的研發工作，陸續投資1億多元，自主開發出六氟化鎢、氘氣、三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐等新產品，并申請專利34項，獲得授權18項。目前所有這些產品涉及關鍵核心技術40余項，均處于國際先進水平。據了解，目前，七一八所三氟化氮國內市場覆蓋率達到95%以上，國際市場覆蓋率達到30%;六氟化鎢國內市場覆蓋率達到100%，國際市場覆蓋率達到40%。

作為國家“02專項”氣體組項目的牽頭單位，七一八所已經成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環丁烷、氯化氫、氟化氫等9種高純氣體及10種混合氣體并成功進行了產業化，相關產品得到了中芯國際等半導體龍頭企業的測試認證。

會上，聯華電子股份有限公司、京東方科技集團股份有限公司、華潤微電子有限公司等客戶代表做了發言。臺積電、京東方、中芯國際、華星光電、三星、東芝等60多家半導體廠商代表參加會議。與會代表還參加了特氣項目產業發展研討對接會，就進一步開展合作、推進特種氣體及半導體行業發展進行了深入交流探討。